本系列化學(xué)氣相沉積爐分為四個(gè)系統(tǒng)，爐體系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，控制系統(tǒng)。本系列化學(xué)氣相沉積爐的控制系統(tǒng)為獨(dú)立的控制柜，控溫儀表采用日本島電公司生產(chǎn)的FP93溫控儀表，控溫精度高，控溫效果好，讀數(shù)直觀、操作方便。

本系列預(yù)氧炭化爐外形為長(zhǎng)方體，非為上下兩部分，上部分為加熱爐體，由預(yù)氧爐和炭化爐組成；左部為預(yù)氧爐外殼用304拉絲板卷成兩個(gè)半圓，上下焊接不銹鋼端蓋。

本系列加熱開啟爐外殼用冷板折彎成長(zhǎng)方形或圓形，內(nèi)部為為爐體，爐體分為耐火層和保溫層，耐火層采用高溫氧化爐纖維真空澆注成型，爐絲均勻的鑲嵌在爐膛表面，提高了爐溫均勻性。

本系列CVD沉碳化硅爐(以下簡(jiǎn)稱CVD爐)分為氣路系統(tǒng)，爐體加熱系統(tǒng)，真空處理系統(tǒng)三部分。CVD爐還帶有超溫報(bào)警功能，當(dāng)溫度超過設(shè)定報(bào)警值時(shí)，蜂鳴器開始報(bào)警，并切斷加熱電源，以杜絕事故的發(fā)生，安全有效。

高溫真空沉積爐

本系列電阻爐爐體外型為圓柱形，爐殼用冷板卷焊外表噴塑而成，爐體固定在裝有升降系統(tǒng)的支架上，爐膛為真空澆注成型,保溫效果好。

本系列電阻爐外形為長(zhǎng)方體，有上下兩部分組成，上部分為加熱爐體。

本系列電阻爐外形為圓柱體，分上下兩部分，上部分為加熱爐體，爐體外殼用冷板卷焊成型，內(nèi)部爐膛分為兩層，內(nèi)層為耐火層用1800℃高晶纖維澆注成型，外層為莫來石保溫層，保溫性能好。

本系列電阻爐爐體由真空室和加熱爐體組成，真空室用碳鋼板卷焊而成，室壁為雙層內(nèi)部可以通循環(huán)水來對(duì)真空室降溫。

本系列電阻爐由水除氧處理子系統(tǒng)、氧化試驗(yàn)子系統(tǒng)、水回收子系統(tǒng)三個(gè)系統(tǒng)組成

本系列電阻爐外形為長(zhǎng)方體，分為上下兩部分，上部分為爐體，用不銹鋼拉絲板折彎氬弧焊成長(zhǎng)方體。

本系列電阻爐由水除氧處理子系統(tǒng)、氧化試驗(yàn)子系統(tǒng)、水回收子系統(tǒng)三個(gè)系統(tǒng)組成，方管焊接成框架噴塑將三個(gè)系統(tǒng)裝置固定在框架上，水除氧處理子系統(tǒng)和氧化試驗(yàn)子系統(tǒng)內(nèi)的材料全部采用不銹鋼材料加工而成桶狀并且焊接密封，連接管道和閥門也采用不銹鋼材料。

該爐為臥式結(jié)構(gòu)，爐膛支撐在箱體上，控制系統(tǒng)（溫度和氣體）均在箱體上，加熱爐管由耐熱鋼制成，加熱爐體由真空澆鑄纖維爐膛制成，形成1200mm的均勻區(qū)

本系列電阻爐由兩個(gè)加熱區(qū)組成。上部為高溫區(qū)，使用溫度為1400℃，最高1500℃。加熱原件為硅鉬棒加熱體。下區(qū)使用溫度為300℃，最高溫度為370℃，加熱元件為電阻絲。

電阻爐外形為長(zhǎng)方體，用角鋼和鋼板焊接成型，內(nèi)部爐膛為圓形，材料為真空澆注成型，爐絲均勻的鑲嵌在爐膛表面提高了爐膛的均勻性